国度学问产权局消息显示，本案涉及用于处置腔室的热源（例如，正在一或多个实施例中，合用于半导体系体例制的灯包罗沿着弓形轮廓的至多一分段延长的灯胆管。灯包罗构成正在灯胆管的外概况的第一部门上的反射涂层。使用材料公司申请一项名为“用于基板处置腔室的灯和窗设置装备摆设”的专利，